负责人：李俊泽、李万才、王佳琪

1产品型号

TESCAN VEGA3

2技术指标

灯丝：钨灯丝加热阴极

多种成像模式：四透镜宽视野模式，高分辨率模式，深度测量模式

电子束能量：200 eV ~ 30 KeV

分子泵组高真空系统：< 9 * 10³Pa

电子束曝光模块：最小线宽> 250 nm

电流计量范围：1 pA ~ 2 μA

高精度反馈式可倾斜电动样品台

3主要功能

金属、非金属、半导体样品的微观形貌分析，晶粒取向衬度像分析等。

电子束曝光模块，适用于电子束光刻胶曝光，微纳器件制作。