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化学气相沉积

发布者: [发表时间]:2019-04-11 [来源]: [浏览次数]:

负责人:蓝善贵、王帅、刘泽一

1产品型号

LINDBERG BLUE M

2仪器主要配置及特色:

主要配置:

最高温度1100 ℃单管式;

两种控制方式可选,包括16步升温和单步升温;

采用Moldatherm节能绝热体,保证快速升温和降温;

紧凑、可移动和重量轻;

开体式设计方便装入和取出加热物;

所用气体:氩气、氮气、氧气。

特色:

铰链门可以方便的装卸物料;

控制面板带电源开关;

带开门自动断电功能;

长寿命“K”型电热偶;

基于微处理器的自调整PID控制器提供最好的热力学过程;

单端,单点设定一步升温至设定点;

过温保护温度可调;

LED同时显示设定温度和实际温度。

3主要用途

使气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物。