负责人：沈宏志、任俊文

1主要配置

光学平台；液氮罐；分子泵组(HiCube)；温度控制装置(model 336)；数字源表 (SMU 2902)；探针台 (TTPX)

2主要特点

分子泵组：超低振动，转速1500 Hz，真空度2×10^-6mTorr.

探针台：四探针测量，真空低温测量，温度范围：4.2-365 K.

数字源表：两个SMU单元集成，测量精度10^-12A，施加电压<60 V，最小脉冲20 μs.

温度控制装置+液氮罐：控制精度1/1000 K.

3主要功能

低温真空电学测试